Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
静电拉伸薄膜反射镜的多电极成形控制 | |
张鹏; 金光; 张元; 钟兴 | |
2012-02-15 | |
发表期刊 | 光学精密工程 |
期号 | 02页码:344-351 |
关键词 | 静电拉伸薄膜 薄膜反射镜 成形控制 反演求解 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27841 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张鹏,金光,张元,等. 静电拉伸薄膜反射镜的多电极成形控制[J]. 光学精密工程,2012(02):344-351. |
APA | 张鹏,金光,张元,&钟兴.(2012).静电拉伸薄膜反射镜的多电极成形控制.光学精密工程(02),344-351. |
MLA | 张鹏,et al."静电拉伸薄膜反射镜的多电极成形控制".光学精密工程 .02(2012):344-351. |
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