CIOMP OpenIR  > 中科院长春光机所知识产出
静电拉伸薄膜反射镜的多电极成形控制
张鹏; 金光; 张元; 钟兴
2012-02-15
发表期刊光学精密工程
期号02页码:344-351
关键词静电拉伸薄膜 薄膜反射镜 成形控制 反演求解
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27841
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
张鹏,金光,张元,等. 静电拉伸薄膜反射镜的多电极成形控制[J]. 光学精密工程,2012(02):344-351.
APA 张鹏,金光,张元,&钟兴.(2012).静电拉伸薄膜反射镜的多电极成形控制.光学精密工程(02),344-351.
MLA 张鹏,et al."静电拉伸薄膜反射镜的多电极成形控制".光学精密工程 .02(2012):344-351.
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