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面阵光纤传像束与面阵CCD的像元耦合调制传递函数特性 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 66-76
作者:  何煦;  袁理;  靳淳琪;  张晓辉
caj(6137Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：823/132  |  提交时间：2018/04/09
光纤光学  面阵光纤传像束  成像质量评价  调制传递函数  像元耦合误差  振荡收敛  
光刻物镜偏心调节机构抑制耦合误差设计 期刊论文
光子学报, 2015, 期号: 09, 页码: 35-39
作者:  张德福;  李显凌;  东立剑;  孙振
caj(2020Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：349/107  |  提交时间：2016/07/06
耦合误差  光刻  物镜  偏心调节机构  柔度矩阵法