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等离子与反应离子刻蚀终点的在线监测——光学反射法 期刊论文
光学精密工程, 1997, 期号: 03, 页码: 91-96
作者:  米宝永
caj(74Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：254/47  |  提交时间：2013/03/11
等离子  反应离子  刻蚀终点  在线监测  光学反射法  
大规模集成电路刻蚀过程和终点的在线监测──等离子发射光谱法 期刊论文
光学精密工程, 1996, 期号: 03, 页码: 75-80
作者:  米宝永
caj(257Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：563/94  |  提交时间：2013/03/11
等离子体  发射光谱  在线监测  刻蚀  大规模集成电路  终点  
LSI离子刻蚀过程中的微弱信号提取及刻蚀过程的在线监测 期刊论文
光学精密工程, 1994, 期号: 04, 页码: 131-139
作者:  刘杰
caj(278Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：434/55  |  提交时间：2013/03/11
终点监测  锁相放大  开关电容滤波器