Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| LSI离子刻蚀过程中的微弱信号提取及刻蚀过程的在线监测 | |
| 刘杰 | |
| 1994-08-30 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 04页码:131-139 |
| 关键词 | 终点监测 锁相放大 开关电容滤波器 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31076 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘杰. LSI离子刻蚀过程中的微弱信号提取及刻蚀过程的在线监测[J]. 光学精密工程,1994(04):131-139. |
| APA | 刘杰.(1994).LSI离子刻蚀过程中的微弱信号提取及刻蚀过程的在线监测.光学精密工程(04),131-139. |
| MLA | 刘杰."LSI离子刻蚀过程中的微弱信号提取及刻蚀过程的在线监测".光学精密工程 .04(1994):131-139. |
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| LSI离子刻蚀过程中的微弱信号提取及刻蚀（278KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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