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厚硅片的高速激光切片研究 期刊论文
光学精密工程, 2006, 期号: 5
作者:  崔建丰;  赵晶;  樊仲维;  赵存华;  张晶;  牛岗;  石朝晖;  裴博;  张国新;  薛岩;  毕勇;  亓岩
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激光技术  全固体激光器  声光调q  激光切片  硅片  
一种采用微硅片狭缝的新型微小型光纤光谱仪 期刊论文
光学精密工程, 2005, 期号: 06, 页码: 637-642
作者:  周连群;  吴一辉;  张平;  宣明;  贾宏光;  李正刚
caj(277Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：538/124  |  提交时间：2013/03/11
微硅片狭缝  微小型光纤光谱仪  微光机电系统  分辨率  波长标定公式  
偏晶向(111)硅片闪耀光栅的制作 期刊论文
光子学报, 2004, 期号: 06, 页码: 755-757
作者:  鞠挥;  张平;  王淑荣;  吴一辉
caj(45Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：548/120  |  提交时间：2013/03/11
(111)硅片  闪耀光栅  体硅技术  湿法腐蚀  
偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 04, 页码: 18-21+26
作者:  鞠挥;  张平;  王淑荣;  吴一辉
caj(46Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：508/107  |  提交时间：2013/03/11
(111)硅片  闪耀光栅  体硅技术  微制造  Mems  湿法腐蚀