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光刻物镜波像差检测平台移相装置的研制 期刊论文
光子学报, 2012, 期号: 12, 页码: 1452-1455
作者:  齐克奇;  向阳
caj(1097Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：536/125  |  提交时间：2013/03/11
光刻投影物镜  波像差  相移测量  桥式放大机构  有限元