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基于电容微位移传感器的大载荷微动台的研制 期刊论文
应用科技, 2014, 期号: 6
作者:  陈琦
Unknown(565Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：297/82  |  提交时间：2015/04/17
纳米定位  压电陶瓷  气浮导轨  电容微位移传感器