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水靶激光等离子体光源11～20nm波段光谱实验 期刊论文
光学精密工程, 2005, 期号: 03, 页码: 272-275
作者:  齐立红;  李忠芳;  尼启良;  陈波
caj(86Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：501/68  |  提交时间：2013/03/11
激光等离子体光源  光谱测量  软x射线  水靶  
激光等离子体光源软X射线反射率计 期刊论文
光谱学与光谱分析, 2005, 期号: 03, 页码: 453-455
作者:  陈波;  尼启良;  曹继红
caj(30Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：360/72  |  提交时间：2013/03/11
软x射线  激光等离子体光源  反射率计  
软X射线投影光刻原理装置的设计 期刊论文
光学精密工程, 2000, 期号: 01, 页码: 66-70
作者:  金春水;  王占山;  曹健林
caj(116Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：388/49  |  提交时间：2013/03/11
软x射线投影光刻  多层膜反射镜  软x射线投影光刻原理装置  激光等离子体光源  
正入射多层膜软X射线显微成像系统的实验研究 期刊论文
仪器仪表学报, 1996, 期号: 06, 页码: 666-668
作者:  王占山;  曹健林;  马月英;  陈星旦
caj(220Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：407/65  |  提交时间：2013/03/11
显微成像系统:7213  多层膜:5748  软x射线:2657  Ｘ射线:1532  正入射:1527  实验研究:1060  反射镜:843  激光等离子体光源:763  工作波长:633  极限分辨率:597