Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
正入射多层膜软X射线显微成像系统的实验研究 | |
王占山; 曹健林; 马月英; 陈星旦 | |
1996-12-20 | |
发表期刊 | 仪器仪表学报 |
期号 | 06页码:666-668 |
关键词 | 显微成像系统:7213 多层膜:5748 软x射线:2657 X射线:1532 正入射:1527 实验研究:1060 反射镜:843 激光等离子体光源:763 工作波长:633 极限分辨率:597 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31034 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王占山,曹健林,马月英,等. 正入射多层膜软X射线显微成像系统的实验研究[J]. 仪器仪表学报,1996(06):666-668. |
APA | 王占山,曹健林,马月英,&陈星旦.(1996).正入射多层膜软X射线显微成像系统的实验研究.仪器仪表学报(06),666-668. |
MLA | 王占山,et al."正入射多层膜软X射线显微成像系统的实验研究".仪器仪表学报 .06(1996):666-668. |
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