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高衍射效率菲涅尔波带片的制作工艺及衍射特性研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  国成立
caj(7476Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:201/0  |  提交时间:2019/09/23
波带片  衍射效率  多台阶刻蚀  混合台阶  误差分析  
X射线布拉格-菲涅耳光学元件的实验研究 期刊论文
光学学报, 1999, 期号: 07, 页码: 130-133
作者:  王占山;  马月英;  吕俊霞;  高宏刚;  刘毅楠;  裴舒;  曹健林;  徐向东;  洪义麟;  付绍军
caj(116Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:438/91  |  提交时间:2013/03/11
X射线布拉格-菲涅耳光学元件  多层膜  波带片  离子束刻蚀  
用光学全息方法研制软X射线Bragg-Fresnel光学元件 期刊论文
真空科学与技术, 1999, 期号: 01, 页码: 68-71
作者:  王占山;  马月英;  吕俊霞;  高宏刚;  刘毅楠;  裴舒;  曹健林;  徐向东;  洪义麟;  付绍军
caj(36Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:504/80  |  提交时间:2013/03/11
软x射线bragg-fresnel光学元件  多层膜  波带片  离子束刻蚀