中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助

已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
PEALD沉积温度对AlN的结构和表面特性的影响（英文） 期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 4, 页码: 219-222
作者:  陈芳;  方铉;  王双鹏;  牛守柱;  方芳;  房丹;  唐吉龙;  王晓华;  刘国军;  魏志鹏
caj(194Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：415/99  |  提交时间：2017/09/17
氮化铝  等离子增强原子层沉积  生长速率  结晶化  表面粗糙度  沉积温度  
热蒸发紫外LaF_3薄膜光学性能和结构表征 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 10, 页码: 136-140
作者:  常艳贺;  金春水;  李春;  靳京城
caj(868Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：550/103  |  提交时间：2013/03/11
薄膜  沉积温度  热蒸发  Laf3  光学损耗