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氢原子在Cat-CVD法制备多晶硅薄膜中的作用 期刊论文
液晶与显示, 2004, 期号: 06, 页码: 450-454
作者:  邝俊峰;  付国柱;  高博;  高文涛;  黄金英;  廖燕平;  荆海
caj(53Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：392/89  |  提交时间：2013/03/11
多晶硅薄膜  氢原子  催化化学气相沉积