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大口径离轴长条形反射镜的检测支撑机构 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 10, 页码: 2835-2842
作者:  杨帅;  沙巍;  陈长征;  张星祥;  任建岳
caj(374Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：477/133  |  提交时间：2016/07/06
离轴长条形反射镜  检测支撑  面形误差  集成仿真与优化  离轴三反相机  
高复现性面形检测支撑装置研制 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 11, 页码: 136-140
作者:  王辉;  于杰;  周烽;  王丽萍
caj(551Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：735/163  |  提交时间：2013/03/11
测量  极紫外光刻  高重复性干涉仪  有限元分析  检测支撑