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基于单压电执行器的光栅刻线摆角修正 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2039-2046
作者:  李晓天;  齐向东;  于海利;  高键翔;  冯树龙;  巴音贺希格
caj(243Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：369/86  |  提交时间：2015/04/17
平面光栅  光栅刻线  摆角修正  衍射波前  压电执行器