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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知识... [3]
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期刊论文 [3]
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1999 [1]
1998 [1]
1997 [1]
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光学精密工程 [2]
微细加工技术 [1]
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软X射线接触式显微术研究
期刊论文
光学精密工程, 1999, 期号: 02, 页码: 27-33
作者:
刘毅楠
;
王占山
;
李哲
;
曹健林
;
林宜平
caj(95Kb)
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提交时间:2013/03/11
软x射线接触式显微术
生物样品
抗蚀膜
显影条件
曝光量
用接触式显微术方法研究软X射线光刻胶特性
期刊论文
微细加工技术, 1998, 期号: 02, 页码: 43-46
作者:
王占山
;
刘毅楠
;
曹健林
caj(39Kb)
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提交时间:2013/03/11
接触式显微术
光刻胶
溶解速率
软 X 射线接触式显微术抗蚀膜显影条件分析
期刊论文
光学精密工程, 1997, 期号: 05, 页码: 74-78
作者:
刘毅楠
;
王占山
;
李哲
;
曹健林
;
林宜平
caj(61Kb)
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提交时间:2013/03/11
软x射线接触式显微术
生物样品
抗蚀膜
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