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退火对富硅氮化硅薄膜的结构和发光的影响 期刊论文
液晶与显示, 2005, 期号: 01, 页码: 18-21
作者:  王颖;  申德振;  张吉英;  刘益春;  张振中;  吕有明;  范希武
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