CIOMP OpenIR  > 中科院长春光机所知识产出
退火对富硅氮化硅薄膜的结构和发光的影响
王颖; 申德振; 张吉英; 刘益春; 张振中; 吕有明; 范希武
2005-02-26
发表期刊液晶与显示
期号01页码:18-21
关键词Pecvd 光致发光 Si团簇 悬键
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30253
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
王颖,申德振,张吉英,等. 退火对富硅氮化硅薄膜的结构和发光的影响[J]. 液晶与显示,2005(01):18-21.
APA 王颖.,申德振.,张吉英.,刘益春.,张振中.,...&范希武.(2005).退火对富硅氮化硅薄膜的结构和发光的影响.液晶与显示(01),18-21.
MLA 王颖,et al."退火对富硅氮化硅薄膜的结构和发光的影响".液晶与显示 .01(2005):18-21.
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