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基体偏压对反应磁控溅射ZrN/α-SiN_x纳米多层薄膜结构及性能的影响 期刊论文
摩擦学学报, 2013, 期号: 01, 页码: 29-35
作者:  胡明;  高晓明;  张立平;  伏彦龙;  杨军;  翁立军;  刘维民
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Zrn/α-sinx纳米多层薄膜  基体偏压  微观结构  机械及摩擦学性能  
质子辐照下Mo/Si多层膜反射镜的微观结构状态 期刊论文
物理学报, 2011, 期号: 01, 页码: 324-330
作者:  关庆丰;  吕鹏;  王孝东;  万明珍;  顾倩倩;  陈波
caj(1428Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:478/88  |  提交时间:2013/03/11
空间太阳望远镜  Mo/si多层膜  微观结构  反射率