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基体偏压对反应磁控溅射ZrN/α-SiN_x纳米多层薄膜结构及性能的影响 期刊论文
摩擦学学报, 2013, 期号: 01, 页码: 29-35
作者:  胡明;  高晓明;  张立平;  伏彦龙;  杨军;  翁立军;  刘维民
caj(611Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：394/111  |  提交时间：2014/03/07
Zrn/α-sinx纳米多层薄膜  基体偏压  微观结构  机械及摩擦学性能