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新型高频硅基超声雾化器的结构仿真及制作 期刊论文
压电与声光, 2017, 页码: 260-264
作者:  张轲;  苗斌;  丁祥桢;  顾智琦;  潘天龙;  李加东;  吴东岷;  张秋菊
caj(479Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：375/132  |  提交时间：2018/04/09
高频硅基超声雾化器  有限元分析  谐振频率  变幅杆  微机电系统  
毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作 期刊论文
压电与声光, 2016, 期号: 4, 页码: 562-565
作者:  苗斌;  李加东;  张轲;  吴东岷
caj(295Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：316/107  |  提交时间：2017/09/17
力值计量  悬臂梁  弹性系数  微机电系统  绝缘衬底上的硅(Soi)  
高g_n值微加速度开关设计 期刊论文
传感器与微系统, 2009, 期号: 5
作者:  杨会玲;  杨会伟;  王军
caj(306Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：428/79  |  提交时间：2012/09/25
微机电系统  微引信  微加速度开关  
微型光谱仪的发展 期刊论文
微纳电子技术, 2003, 期号: 01, 页码: 30-37
作者:  鞠挥;  吴一辉
caj(1127Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：404/57  |  提交时间：2013/03/11
微型光谱仪  微机电系统  微光学  微制造技术