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光反射法微摩擦测试仪 期刊论文
中国机械工程, 2005, 期号: 14, 页码: 1299-1302
作者:  于正林;  吴一辉;  刘治华;  贾宏光;  黎海文
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Mems  微摩擦测试  光反射法  硅传感器  线阵ccd  
用于微摩擦测试的微力传感器及其制作 期刊论文
微细加工技术, 2004, 期号: 03, 页码: 65-69
作者:  黎海文;  吴一辉;  李也凡;  张平;  王淑荣;  贾宏光
caj(69Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:357/62  |  提交时间:2013/03/11
Mems  微摩擦测试  微力传感器  
微摩擦测试仪力传感器的研究 期刊论文
光学精密工程, 2002, 期号: 04, 页码: 388-391
作者:  黎海文;  贾宏光;  吴一辉;  李锋
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Mems  微摩擦测试  力传感器  结构设计