Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
光反射法微摩擦测试仪 | |
于正林; 吴一辉; 刘治华; 贾宏光; 黎海文 | |
2005-07-30 | |
发表期刊 | 中国机械工程 |
期号 | 14页码:1299-1302 |
关键词 | Mems 微摩擦测试 光反射法 硅传感器 线阵ccd |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28776 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 于正林,吴一辉,刘治华,等. 光反射法微摩擦测试仪[J]. 中国机械工程,2005(14):1299-1302. |
APA | 于正林,吴一辉,刘治华,贾宏光,&黎海文.(2005).光反射法微摩擦测试仪.中国机械工程(14),1299-1302. |
MLA | 于正林,et al."光反射法微摩擦测试仪".中国机械工程 .14(2005):1299-1302. |
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