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扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期精确测量方法 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 07, 页码: 55-64
作者:  姜珊;  巴音贺希格;  潘明忠;  李文昊;  宋莹
caj(3588Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：282/116  |  提交时间：2016/07/06
光栅  扫描干涉场曝光系统  干涉条纹周期测量  相位锁定