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X射线Bragg-Fresnel元件中多层膜的稳定性研究 期刊论文
微细加工技术, 1997, 期号: 01, 页码: 35-40
作者:  乐孜纯;  梁静秋;  马月英;  崔承甲;  裴舒;  姚劲松;  曹健林
caj(155Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：643/58  |  提交时间：2013/03/11
Bragg－fersnel元件  多层膜结构  热稳定性  化学稳定性