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压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  李朋志
caj(10011Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：342/0  |  提交时间：2020/08/24
光刻物镜  压电促动器  迟滞  模糊  运动控制  像差补偿  
展开式拼接望远镜粗共焦共相调整系统设计 期刊论文
光电工程, 2016, 期号: 7, 页码: 52-58+66
作者:  齐荔荔;  王刚;  武国梁;  王磊
caj(471Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：413/146  |  提交时间：2017/09/17
展开式拼接望远镜  粗共焦共位相  压电促动器  三自由度平台