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激光加工技术在空间光机结构制造中的应用 期刊论文
光机电信息, 2011, 期号: 11, 页码: 8-12
作者:  张雷;  姚劲松;  邢利娜;  贾继强;  金光
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光机结构  激光加工技术  制造工艺  可行性  
硅光栅技术 期刊论文
光机电信息, 2002, 期号: 08, 页码: 13-15
作者:  栾光辉;  刘剑
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硅光栅:8344  衍射光栅:2782  各向异性刻蚀:2681  制作工艺:2002  光刻胶:1650  闪耀光栅:1645  微机械:1511  微细加工技术:1326  多晶硅:1050  反射光栅:922  
硅光栅的制作与应用 期刊论文
微纳电子技术, 2002, 期号: 02, 页码: 29-33
作者:  鞠挥;  吴一辉;  王立鼎
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硅  光栅  微加工技术  
超精密加工技术的发展概况 期刊论文
光机电信息, 1998, 期号: 08, 页码: 16-18
作者:  彭书志
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超精密加工:6278  超精密机床:4610  加工技术:4220  发展概况:3700  超精密车床:1903  压电陶瓷:1240  热膨胀系数:884  气体静压轴承:856  液体静压轴承:769  高精度:738  
非球面主反射镜检测用支撑结构的优化设计 期刊论文
光学精密工程, 1997, 期号: 06, 页码: 100-104
作者:  王权陡;  郑卫平;  余景池
caj(73Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：461/104  |  提交时间：2013/03/11
光学元件支撑结构（oss）~［1］  有限元分析方法（fem）~［2－3］  非球面主反射镜  非球面光学元件数控加工技术（ccop）~［4］  
国内外非球面光学零件加工技术的现状及新进展 期刊论文
光学技术, 1993, 期号: 05, 页码: 8-14
作者:  朴承镐;  蔡立
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非球面  光学零件  加工技术  
纳米级光学超精密加工技术 期刊论文
物理, 1992, 期号: 12, 页码: 726-731
作者:  于劲;  曹健林
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超精密加工技术:7094  浮法抛光:3425  纳米级:3411  表面粗糙度:2834  Spdt:2615  离子束抛光:2163  亚纳米:1538  光电子学:1298  原子:1190  主轴:1127