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宽波段全息-离子束刻蚀光栅的设计及工艺 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 07, 页码: 1978-1983
作者:  吴娜;  谭鑫;  于海利;  张方程
caj(393Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：633/183  |  提交时间：2016/07/06
全息光栅  宽波段光栅  离子束刻蚀  刻蚀模拟  
离子束刻蚀光栅掩模图形转移分析 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 6, 页码: 628-632
作者:  吴娜
caj(209Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：399/101  |  提交时间：2015/04/17
衍射效率  刻蚀模拟  全息光栅  
闪耀全息光栅离子束刻蚀工艺模拟及实验验证 期刊论文
光学精密工程, 2012, 期号: 09, 页码: 1904-1912
作者:  吴娜;  谭鑫;  巴音贺希格;  唐玉国
caj(1195Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：556/119  |  提交时间：2013/03/11
闪耀光栅  全息光栅  衍射效率  刻蚀模拟  离子束刻蚀