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蚀刻表面面形的分析 期刊论文
光子学报, 2002, 期号: 07, 页码: 887-893
作者:  张殿文;  卢振武;  曹召良;  李凤友;  赵晶丽;  裴舒;  刘玉玲;  王肇圻
caj(173Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：443/84  |  提交时间：2013/03/11
离子束蚀刻  光栅  表面浮雕结构  准单向蚀刻效应