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扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62
作者:  姜珊;  巴音贺希格;  李文昊;  宋莹;  潘明忠
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：421/125  |  提交时间：2015/04/17
光栅  扫描干涉场曝光系统  相位锁定  光栅周期  刻线误差  
非异常区TM偏振波宽波段特性的激光器调谐光栅设计 期刊论文
光学精密工程, 2010, 期号: 3
作者:  张善文;  巴音贺希格
caj(34Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：430/83  |  提交时间：2012/09/25
激光器:5182  衍射效率:3932  偏振波:3474  异常区:3243  宽波段:3172  光栅周期:3029  调谐:2823  设计方法:1663  特性:1613  光栅设计:1584  
光栅周期不一致对莫尔条纹法测量扭转角的影响 期刊论文
中国光学与应用光学, 2009, 期号: 6
作者:  秦富林;  张尧禹;  蔡盛;  乔彦峰
caj(114Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：509/98  |  提交时间：2012/09/25
光栅周期不一致  莫尔条纹法  扭转角测量