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光栅周期不一致对莫尔条纹法测量扭转角的影响
秦富林; 张尧禹; 蔡盛; 乔彦峰
2009-12-15
发表期刊中国光学与应用光学
ISSN1674-2915
期号6
摘要为了提高用莫尔条纹法测量扭转角的测量精度,分析了光栅周期不一致对扭转角测量误差的影响。从基于莫尔条纹法测量扭转角的原理出发,论述了光栅周期不一致与测量精度的关系,讨论了引起两光栅周期不一致的两个因素,即光栅刻划误差以及两光栅栅面不平行。理论分析表明,前者是引起光栅周期不一致的主要原因。当两光栅等效周期比值β<1.001时,在±15′的测量范围内,选择光栅周期为50μm,莫尔条纹宽度为1400~1800μm时,光栅周期不一致引起的测量误差可以控制在1.6″之内。
关键词光栅周期不一致 莫尔条纹法 扭转角测量
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21891
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
秦富林,张尧禹,蔡盛,等. 光栅周期不一致对莫尔条纹法测量扭转角的影响[J]. 中国光学与应用光学,2009(6).
APA 秦富林,张尧禹,蔡盛,&乔彦峰.(2009).光栅周期不一致对莫尔条纹法测量扭转角的影响.中国光学与应用光学(6).
MLA 秦富林,et al."光栅周期不一致对莫尔条纹法测量扭转角的影响".中国光学与应用光学 .6(2009).
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