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偏晶向(111)硅片闪耀光栅的制作 期刊论文
光子学报, 2004, 期号: 06, 页码: 755-757
作者:  鞠挥;  张平;  王淑荣;  吴一辉
caj(45Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：473/76  |  提交时间：2013/03/11
(111)硅片  闪耀光栅  体硅技术  湿法腐蚀  
偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 04, 页码: 18-21+26
作者:  鞠挥;  张平;  王淑荣;  吴一辉
caj(46Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：431/59  |  提交时间：2013/03/11
(111)硅片  闪耀光栅  体硅技术  微制造  Mems  湿法腐蚀