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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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Mo/Si multilayers sputtered onto inclined substrates: experiments and simulations
期刊论文
Optics Express, 2020, 卷号: 28, 期号: 9, 页码: 13516-13531
作者:
S. Z. Sun,B. Yu,G. Tao,S. Yao,Y. Liu,W. Y. Deng,C. Li and C. S. Jin
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提交时间:2021/07/06
Plasma-ion-assisted deposition of HfO2 films with low UV absorption
期刊论文
Surface & Coatings Technology, 2020, 卷号: 395, 页码: 12
作者:
W. Y. Deng,C. S. Jin,C. Li,S. Yao,B. Yu and Y. Liu
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提交时间:2021/07/06