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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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Deposition, Characterization, and Modeling of Scandium-Doped Aluminum Nitride Thin Film for Piezoelectric Devices
期刊论文
Materials, 2021, 卷号: 14, 期号: 21, 页码: 11
作者:
Q. Z. Zhang
;
M. Z. Chen
;
H. L. Liu
;
X. Y. Zhao
;
X. M. Qin
;
F. F. Wang
;
Y. X. Tang
;
K. H. Yeoh
;
K. H. Chew and X. J. Sun
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提交时间:2022/06/13