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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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Weighted iterative algorithm for beam alignment in scanning beam interference lithography
期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 31
作者:
Song, Y.
;
W. Wang
;
S. Jiang
;
Bayanheshig and N. Zhang
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提交时间:2018/06/13
Design of Ultraviolet High-Resolution Astigmatic Correction Rowland Holographic Grating
期刊论文
Spectroscopy and Spectral Analysis, 2017, 卷号: 37, 期号: 11
作者:
Zhao, X. L.
;
Bayanheshig
;
W. H. Li
;
Y. X. Jiang
;
N. Wu and T. Zhang
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提交时间:2018/06/13