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同步辐射光束线水平偏转压弯机构关键技术研究及性能测试 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  高飒飒
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超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 07, 页码: 1741-1747
作者:  高飒飒;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
caj(821Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:545/154  |  提交时间:2014/03/07
X射线干涉光刻光束线  精密狭缝  四刀结构  重复精度  有限元分析  
X射线干涉光刻偏转聚焦系统热载影响与分析 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 306-312
作者:  高飒飒;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
caj(977Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:716/141  |  提交时间:2013/03/11
X射线光学  功率密度分布  热平衡  面形误差  有限元分析