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亚微米尺寸元件的离子束刻蚀制作 期刊论文
光子学报, 2003, 期号: 06, 页码: 653-656
作者:  曹召良;  陆广;  王吉增;  杨柏;  卢振武;  李凤有;  任智斌;  刘玉玲
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离子束刻蚀  亚微米  离子能量  束流密度  刻蚀速率  表面光洁度  
利用去湿现象制备图案化的离子刻蚀聚合物保护层 期刊论文
高等学校化学学报, 2003, 期号: 12, 页码: 2390-2392
作者:  陆广;  曹召良;  卢振武;  李伟;  姚计敏;  张刚;  杨柏;  沈家骢
caj(93Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：405/81  |  提交时间：2013/03/11
聚合物  去湿  微接触印刷  自组装单层膜  离子刻蚀