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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中国激光 [1]
光子学报 [1]
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利用曲面计算全息图进行凸面非球面检测
期刊论文
光电子·激光, 2004, 期号: 09, 页码: 1088-1090
作者:
卢振武
;
李凤有
;
刘华
;
谢永军
;
翁志成
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提交时间:2013/03/11
曲面计算全息图
凸面非球面
非球面检测
激光直写
离焦激光直写光刻工艺研究
期刊论文
中国激光, 2002, 期号: 09, 页码: 850-854
作者:
李凤友
;
卢振武
;
谢永军
;
张殿文
;
裴苏
;
赵晶丽
caj(479Kb)
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提交时间:2013/03/11
激光直写光刻
离焦写入
四轴激光直写系统
直角坐标和极坐标系一体的激光直写设备(英文)
期刊论文
光子学报, 2002, 期号: 05, 页码: 616-619
作者:
李凤友
;
卢振武
;
谢永军
;
张殿文
caj(188Kb)
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提交时间:2013/03/11
激光直写
衍射光学元件
计算全息图和光刻