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光刻投影物镜恒温水套小比例模型的设计与性能测试 期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 8, 页码: 146-151
作者:  彭海峰;  于新峰;  秦硕
caj(1581Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：474/142  |  提交时间：2017/09/17
测量  投影物镜  恒温水套  热像差  温度测试  
基于运动学支撑的透镜光学表面面形及其复现性 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 08, 页码: 2000-2007
作者:  于新峰;  巩岩;  倪明阳;  秦硕
caj(621Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：504/214  |  提交时间：2014/03/07
投影物镜  运动学支撑结构  光学表面面形  夹持力  复现性  有限元法  Zernike多项式  
大时间热响应常数投影物镜的超高精度温度控制 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 01, 页码: 108-114
作者:  秦硕;  巩岩;  袁文全;  杨怀江
caj(2080Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：514/111  |  提交时间：2014/03/07
投影物镜  温度控制  串级控制  大时滞  模型预测  前馈补偿