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成像系统倍率高精度测量技术研究 期刊论文
光学学报, 2018, 期号: 07, 页码: 167-176
作者:  董冠极;  唐锋;  王向朝;  冯鹏;  郭福东;  彭常哲
收藏  |  浏览/下载：391/0  |  提交时间：2019/09/17
测量  倍率  Zernike多项式  点衍射干涉法