CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共1条,第1-1条 帮助

已选(0)清除 条数/页:   排序方式:
投影光刻物镜的计算机辅助装调 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 6, 页码: 206-211
作者:  赵菲菲;  唐剑宇;  黄玮;  许伟才
caj(292Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:287/102  |  提交时间:2015/04/17
光学设计  计算机辅助装调  投影光刻物镜  奇异值分解  畸变