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并联自解耦二自由度微位移平台的研制与测量 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 1874-1881
作者:  齐克奇;  向阳;  丁亚林;  方超;  周振平
caj(489Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：479/132  |  提交时间：2018/04/09
并联式  自解耦  微位移平台  嵌套式平行导向机构  有限元方法