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X射线干涉光刻光束线关键光学元件热-结构耦合分析 期刊论文
仪器仪表学报, 2015, 期号: 10, 页码: 2347-2354
作者:  龚学鹏;  卢启鹏
caj(1505Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：287/111  |  提交时间：2016/07/06
X射线干涉光刻  热分析  数值模拟  同步辐射  
X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2142-2150
作者:  龚学鹏;  卢启鹏;  彭忠琦
caj(308Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：269/106  |  提交时间：2015/04/17
上海同步辐射光源  X射线干涉光刻  偏转镜  结构设计  精度测试  
超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 07, 页码: 1741-1747
作者:  高飒飒;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
caj(821Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：464/131  |  提交时间：2014/03/07
X射线干涉光刻光束线  精密狭缝  四刀结构  重复精度  有限元分析