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可见-近红外微型空间调制光谱仪关键技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2010
作者:  王波
Adobe PDF(1968Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：306/2  |  提交时间：2013/02/28
Design and fabrication of a micro-optic switch 期刊论文
Optics Express, 2008, 卷号: 16, 期号: 9, 页码: 6324-6330
作者:  Li W.;  Liang J. Q.;  Liang Z. Z.;  Li X. Q.;  Wang W. B.;  Zhong Y. C.;  Sun D. G.
Adobe PDF(256Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：528/90  |  提交时间：2012/10/21
聚酰亚胺微悬臂梁理论及实验 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2007, 期号: 4
作者:  钟砚超;  梁静秋;  李小奇;  李伟;  王淑荣;  梁中翥;  孙德贵
caj(450Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：491/81  |  提交时间：2012/09/25
聚酰亚胺(Pi)  悬臂梁  有限元分析  光刻  
AZ4903光刻胶在微电机定子绕组制作中的应用 期刊论文
清华大学学报(自然科学版), 2005, 期号: 08, 页码: 1062-1065
作者:  郭占社;  吴一辉;  孟永钢
caj(120Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：387/70  |  提交时间：2013/03/11
机械制造工艺  Az4903  电磁型平面微电机  绕组线圈