Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| AZ4903光刻胶在微电机定子绕组制作中的应用 | |
郭占社; 吴一辉 ; 孟永钢
| |
| 2005-08-25 | |
| 发表期刊 | 清华大学学报(自然科学版)
 |
| 期号 | 08页码:1062-1065 |
| 关键词 | 机械制造工艺 Az4903 电磁型平面微电机 绕组线圈 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28741 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭占社,吴一辉,孟永钢. AZ4903光刻胶在微电机定子绕组制作中的应用[J]. 清华大学学报(自然科学版),2005(08):1062-1065. |
| APA | 郭占社,吴一辉,&孟永钢.(2005).AZ4903光刻胶在微电机定子绕组制作中的应用.清华大学学报(自然科学版)(08),1062-1065. |
| MLA | 郭占社,et al."AZ4903光刻胶在微电机定子绕组制作中的应用".清华大学学报(自然科学版) .08(2005):1062-1065. |
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