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大面积高质量中阶梯光栅厚铝膜特性和制备工艺研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  孙梦至
Adobe PDF(3757Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：302/3  |  提交时间：2016/04/11
中阶梯光栅  高质量铝膜  大面积均匀性  多步沉积  
真空镀铝,镀油对复制衍射光栅精度的影响 期刊论文
光机电信息, 1997, 期号: 10, 页码: 29-31
作者:  王丽娟
caj(165Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：391/73  |  提交时间：2013/03/11
复制衍射光栅:5799  复制光栅:5415  真空镀铝:3679  集光效率:3388  光栅衍射:2243  衍射波:1441  干涉条纹:1212  工艺过程:1186  复制工艺:1128  镀铝膜:870