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用于非球面检测的计算全息图制作研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  赵龙波
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计算全息图  非球面检测  激光直写  反应离子刻蚀  衍射光学元件加工  
　LED集成阵列芯片理论及关键工艺研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  包兴臻
Adobe PDF(3149Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：420/2  |  提交时间：2014/03/15
Led阵列  隔离槽  出光效率  Mems技术  
柔性LED阵列器件的结构设计及制备研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  高丹
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微型柔性led阵列  Algainp  聚酰亚胺  Moems技术  隔离沟槽  
a—Si TFT AMLCD中湿法刻蚀技术的研究 期刊论文
长春光学精密机械学院学报, 1998, 期号: 03, 页码: 51-53+79
作者:  王丽娟;  刘博林;  惠博然
caj(25Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：394/52  |  提交时间：2013/03/12
湿法刻蚀  针孔  钻蚀