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极紫外多层膜光学元件表面污染研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  鹿国庆
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软X射线投影光刻技术及其发展(续) 期刊论文
物理实验, 2002, 期号: 06, 页码: 3-6
作者:  金春水;  曹健林
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软x射线:6714  投影光刻:5104  多层膜:4818  反射式:1137  光刻胶:1091  软x射线照射:949  掩膜技术:901  反射率:875  光学系统:601  易氧化材料:561  
软X射线投影光刻技术及其发展 期刊论文
物理实验, 2002, 期号: 05, 页码: 3-6
作者:  金春水;  曹健林
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软x射线  投影光刻  光学系统  
软X射线投影光刻技术 期刊论文
强激光与粒子束, 2000, 期号: 05, 页码: 559-564
作者:  金春水;  王占山;  曹健林
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软x射线  投影光刻  集成电路  
软X射线投影光刻原理装置的设计 期刊论文
光学精密工程, 2000, 期号: 01, 页码: 66-70
作者:  金春水;  王占山;  曹健林
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软x射线投影光刻  多层膜反射镜  软x射线投影光刻原理装置  激光等离子体光源