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基于有限元法的激光横向刻蚀路径对片阻阻值影响的研究 期刊论文
电子器件, 2008, 期号: 3
作者:  王志娟;  郑玉彤;  闫晓东;  汤建华
caj(1201Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：521/101  |  提交时间：2012/09/25
激光调阻  调阻精度  横向刻蚀长度  横向起刻位置  有限元法  
基于有限元法的片式电阻阻值与激光刻蚀路径关系的研究 期刊论文
中央民族大学学报(自然科学版), 2007, 期号: 4
作者:  王志娟;  郑玉彤;  汤建华
caj(80Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：604/91  |  提交时间：2012/09/25
激光调阻  调阻精度  激光刻蚀路径  有限元  
激光调阻预置式变速光刻控制 期刊论文
光机电信息, 2007, 期号: 1
作者:  孙继凤;  汤建华
caj(214Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：370/85  |  提交时间：2012/09/25
激光调阻  预置式控制  变速控制  调阻速度  调阻精度  
激光调阻工艺参数对调阻精度的影响分析 期刊论文
应用激光, 2004, 期号: 03, 页码: 139-141
作者:  孙继凤;  汤建华;  郭晓光
caj(25Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：485/80  |  提交时间：2013/03/11
光斑重叠率  激光功率  调q频率  调阻速度  调阻精度  
片式电阻激光微调过程中的调阻精度控制 期刊论文
光电子·激光, 2004, 期号: 01, 页码: 86-88
作者:  王志娟;  孙继凤;  郭晓光;  汤建华;  于前洋
caj(34Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：485/77  |  提交时间：2013/03/11
激光调阻  L型调阻图形  粗调  精调