Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 激光调阻预置式变速光刻控制 | |
| 孙继凤; 汤建华 | |
| 2007-01-25 | |
| 发表期刊 | 光机电信息
 |
| ISSN | 1007-1180 |
| 期号 | 1 |
| 摘要 | 全自动激光调阻机是各种薄、厚膜片式电阻的工业化专用生产设备,提高调阻性能是提升设备生产力,降低生产成本,节能增效的主要途径。因此,在原系统基础上对激光调阻中光束定向控制系统进行改进设计,以先验知识为基础,构造预置、简单变速、实时变速等光刻控制模型,得到预置式变速光刻控制方法。它能根据不同的精度、速度要求和片阻初值偏差进行优化决策,实现在激光粗调电阻时,采用快速光刻;在激光精调电阻时,采用慢速光刻。这样不仅动态改变了片阻的光刻阻值变化率,提高了调阻精度,而且缩短了粗调光刻时间,提高了调阻速度,从整体上提高了激光调阻性能。 |
| 关键词 | 激光调阻 预置式控制 变速控制 调阻速度 调阻精度 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21219 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙继凤,汤建华. 激光调阻预置式变速光刻控制[J]. 光机电信息,2007(1). |
| APA | 孙继凤,&汤建华.(2007).激光调阻预置式变速光刻控制.光机电信息(1). |
| MLA | 孙继凤,et al."激光调阻预置式变速光刻控制".光机电信息 .1(2007). |
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