Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基于有限元法的片式电阻阻值与激光刻蚀路径关系的研究 | |
| 王志娟; 郑玉彤; 汤建华 | |
| 2007-11-15 | |
| 发表期刊 | 中央民族大学学报(自然科学版)
 |
| ISSN | 1005-8036 |
| 期号 | 4 |
| 摘要 | 激光对片式电阻的刻蚀路径直接影响片式电阻的阻值精度,掌握激光刻蚀路径对片阻阻值的影响可为精调片阻阻值提供理论依据.掌握激光刻蚀路径与片阻阻值关系的前提是确定准确、有效的研究方法,首先,应确定片阻阻值与激光刻蚀路径关系的物理模型,然后应用有限元法计算该物理模型的数值解,分析、处理这些数据可得到不同型号片阻阻值与不同刻蚀路径之间的定量关系;经实验验证表明,利用有限元法得到的片阻阻值与刻蚀路径的关系函数的计算偏差不大于2%,可以应用有限元法研究激光刻蚀路径对片阻阻值的影响,进而为精调片阻阻值提供了控制依据. |
| 关键词 | 激光调阻 调阻精度 激光刻蚀路径 有限元 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/24255 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王志娟,郑玉彤,汤建华. 基于有限元法的片式电阻阻值与激光刻蚀路径关系的研究[J]. 中央民族大学学报(自然科学版),2007(4). |
| APA | 王志娟,郑玉彤,&汤建华.(2007).基于有限元法的片式电阻阻值与激光刻蚀路径关系的研究.中央民族大学学报(自然科学版)(4). |
| MLA | 王志娟,et al."基于有限元法的片式电阻阻值与激光刻蚀路径关系的研究".中央民族大学学报(自然科学版) .4(2007). |
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